Ano ang isang high purity alumina ceramic wafer polishing plate?

Kasabay ng mabilis na pag-unlad ng industriya ng semiconductor, mabilis na lumaki ang saklaw ng industriya, at ang mga kagamitan sa paggawa ng semiconductor ay patuloy na umuunlad patungo sa katumpakan at pagiging kumplikado. Dahil ang mga seramiko ay may mga bentahe ng mataas na tigas, mataas na elastic modulus, mataas na resistensya sa pagkasira, mataas na insulasyon, resistensya sa kalawang, mababang paglawak, atbp., maaari itong gamitin bilang mga bahagi ng silicon polishing machine, epitaxial/oxidation/diffusion heat treatment equipment, lithography machine, deposition equipment, semiconductor etching equipment, ion implantation machine at iba pang kagamitan, kaya ang pananaliksik at pagpapaunlad at produksyon ng mga precision ceramic parts ay direktang nakakaapekto sa pag-unlad ng industriya ng semiconductor. Ang mga teknikal na kinakailangan sa paghahanda nito ay tumataas nang tumataas.

Mataas na kadalisayan na alumina, 99.7%-99.9% alumina.
Mataas na mekanikal na lakas, mataas na resistensya sa pagkasira, mataas na electrical insulation, mataas na kemikal na estabilidad, mahusay na resistensya sa init at resistensya sa kalawang. Sa kasalukuyan, ang paggamit ng ceramic grinding disc grinding semiconductor silicon wafer ang pinaka-napakahusay at makabagong paraan ng paggiling. Ginagamit ang proseso ng paggiling na doble ang panig upang gilingin ang pinutol na silicon wafer, at ang kalidad ng grinding wafer ay napapabuti sa pamamagitan ng pagpapabuti ng proseso ng paggiling (materyal ng disc, grinding fluid, presyon ng paggiling at bilis ng paggiling, atbp.). Sa partikular, ang paggamit ng mga ceramic plate sa halip na mga cast iron plate, upang maiwasan ang paggiling sa pangunahing ibabaw ng wafer na dulot ng mga peklat o polusyon, mabawasan ang pagpasok ng mga metal ion, maaaring mabawasan ang kasunod na pagproseso ng silicon, paikliin ang oras ng kasunod na proseso (kaagnasan), mapabuti ang kahusayan ng produksyon, at mabawasan ang pagkawala ng pagproseso ng silicon, at lubos na mapabuti ang paggamit ng silicon.

Plato ng buli na may mataas na alumina waferGinagamit ito sa mga industriya ng semiconductor, petrolyo, kemikal, photovoltaic, liquid crystal at iba pang mga bahagi, tulad ng mga mekanikal na bahagi, elektronikong bahagi, microwave induction disk, mga materyales sa insulasyon at iba pang mga bahagi, mga aparato ng semiconductor, kagamitan sa vacuum, kagamitan sa paggawa ng liquid crystal at iba pang mga bahagi. Ang malalaking sukat at mataas na kadalisayan na alumina ceramics ay may mahalagang halaga ng aplikasyon sa industriya ng sapiro at industriya ng semiconductor chip. Ito ay isang mahalagang suporta at consumable para sa kemikal na mekanikal na pagpapakintab (CMP) ng mga sapiro at semiconductor silicon wafer. Ang malalaking sukat at mataas na kadalisayan na alumina ceramics ay maaari ding gamitin bilang isang alumina substrate para sa LCD.